Uso de filmes obtido pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados.

Os antigos e já bem desenvolvidos dispositivos para tratamentos e/ou análise de amostras têm sido grandemente estudados para novas adaptações, devido à importância de se construir sistemas miniaturizados. A obtenção destes sistemas miniaturizados baseia-se não apenas na construção ou metodologia, ma...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Carvalho, Rodrigo Amorim Motta
Other Authors: Silva, Maria Lucia Pereira da
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2009
Subjects:
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/