Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.

Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.

Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na...

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Bibliographic Details
Main Author: Guimarães, Marcelo Silva
Other Authors: Sinatora, Amilton
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2002
Subjects:
buckling
filmes finos
flambagem
mechanical properties
MEMS
microelectromechanical systems
microscopia nomarski
microssistemas
nomarski microscopy
propriedades mecânicas propriedades térmicas
thermophysical properties
thin films
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/

Internet

http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/

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