Projeto e construção de um sistema de vácuo dedicado a técnica SIMS

Projeto e construção de um sistema de vácuo dedicado a técnica SIMS

O trabalho realizado teve como objetivo principal o projeto, a construção e os testes de um sistema de vácuo dedicado a técnica de Espectrometria de Massa do íon Secundário (SIMS), a ser utilizado na caracterização estrutural de heteroestruturas semicondutoras. O sistema (câmaras e conexões) foi tot...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Franceschini, Marco José
Other Authors: Marega Junior, Euclydes
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 1997
Subjects:
Espectroscopia de massa
Instrumentação científica
Instrumentation
Mass Spectrometry
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-01042014-160711/

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