Projeto e construção de um sistema de vácuo dedicado a técnica SIMS
O trabalho realizado teve como objetivo principal o projeto, a construção e os testes de um sistema de vácuo dedicado a técnica de Espectrometria de Massa do íon Secundário (SIMS), a ser utilizado na caracterização estrutural de heteroestruturas semicondutoras. O sistema (câmaras e conexões) foi tot...
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| Format: | Others |
| Language: | pt |
| Published: |
Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
1997
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-01042014-160711/ |