Étude spectroscopique des dépositions de couches minces de Ni(CO)[indice inférieur 4] sur une surface d'Au(111) et sur un substrat organique : Stabilité thermique et processus induits par des électrons lents
La déposition chimique en phase vapeur (DCV) est une méthode grandement employée dans l'industrie des semi-conducteurs et dans tout le domaine de la microélectronique. Cependant, les connaissances théoriques reliées aux mécanismes moléculaires se produisant lors des différentes étapes de fabric...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | French |
| Published: |
Université de Sherbrooke
2008
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| Online Access: | http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/4761 |