3D integration of single electron transistors in the Back-End-Of-Line of 28 nm CMOS technology for the development of ultra-low power sensors

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Full description

Bibliographic Details
Main Author: Ayadi, Yosri
Other Authors: Drouin, Dominique
Language:English
Published: Université de Sherbrooke 2016
Subjects:
Online Access:http://hdl.handle.net/11143/10122