Du tri-isopropoxyde aux oxydes d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur : procédé, composition et propriétés des revêtements obtenus
Des revetements d'alumine préparés par MOCVD à partir d'isopropoxyde d'aluminium (réacteur à mur chaud, basse pression, température de dépôt entre 350° et 700°C) ont été caractérisés par EDS, EMPA, ERDA-RBS, DRX, MEB, MET, FTIR, ATG, AFM. La composition des dépôts préparés par pyrolys...
| Main Author: | |
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| Format: | Others |
| Published: |
2006
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| Online Access: | http://oatao.univ-toulouse.fr/7525/1/sovar.pdf |