Charakterisierung von PZT-Dünnschichten auf Metallsubstraten
Das Mischkristallsystem PbZrxTi1-xO3 (PZT) gehört durch seine ausgeprägten piezo- und ferroelektrischen Eigenschaften zu den meist verwendeten Funktionskeramiken. In Form von Dünnschichten auf flexiblen Metallsubstraten können sie für unterschiedlichste Anwendungen als Tastschalter, Vibrationsdämpfe...
| Main Author: | |
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
2006
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://opus.bibliothek.uni-wuerzburg.de/frontdoor/index/index/docId/2244 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bvb:20-opus-26235 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:20-opus-26235 https://opus.bibliothek.uni-wuerzburg.de/files/2244/dutschke020208_1.pdf |