Modification des propriétés optiques de nanofils à base de GaN par plasma N2/O2
Une sonde électrostatique de Langmuir cylindrique a été utilisée pour caractériser une post-décharge d’un plasma d’ondes de surface de N2-O2 par la mesure de la densité des ions et électrons ainsi que la température des électrons dérivée de la fonction de distribution en énergie des électrons (EEDF)...
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Language: | fr |
Published: |
2014
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/1866/11160 |