Dépôt de couches minces par plasma froid à pression atmosphérique: application aux dépôts de SiOxCyNzHw et de TiOx
L'objectif de cette thèse est d’étudier l’utilisation des plasmas froids à pression atmosphérique pour déposer des couches minces apportant une valeur ajoutée (protection contre la corrosion, effet autonettoyant ou antibactérien,…) aux produits. Cette recherche se divise en trois parties :carac...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Doctoral Thesis |
Language: | fr |
Published: |
Universite Libre de Bruxelles
2011
|
Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/2013/ULB-DIPOT:oai:dipot.ulb.ac.be:2013/209791 |