Untersuchung einer Herstellungstechnologie für Feldeffekt-Transistoren auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren
Seit der Erfindung der integrierten Schaltung in den 1960er Jahren wird die Skalierung elektronischer Bauelemente dem Postulat von Moore folgend immer weiter vorangetrieben. Die Skalierung des wichtigsten Bauelements der Mikro- und Nanoelektronik, des Metall–Oxid–Halbleiter-Feldeffekt-Transistors (M...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Others |
| Language: | de |
| Published: |
2018
|
| Online Access: | http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/7660/7/2018-07-31_Keyn_Martin.pdf Keyn, Martin <http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/view/person/Keyn=3AMartin=3A=3A.html> : Untersuchung einer Herstellungstechnologie für Feldeffekt-Transistoren auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren. Technische Universität, Darmstadt [Ph.D. Thesis], (2018) |
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http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/7660/7/2018-07-31_Keyn_Martin.pdfKeyn, Martin <http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/view/person/Keyn=3AMartin=3A=3A.html> : Untersuchung einer Herstellungstechnologie für Feldeffekt-Transistoren auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren. Technische Universität, Darmstadt [Ph.D. Thesis], (2018)