Entwurfskriterien feinwerktechnischer integrierter Sensor-Aktor-Systeme
Die vorliegende Arbeit bietet nicht nur einen Überblick über die Tätigkeit des Autors in den vergangenen Jahren am Institut für Elektromechanische Konstruktionen, sondern in Kapitel 2 auch einen fundierten Einblick in den Stand der Technik der integrierten Sensor-Aktor-Systeme. Diese werden untersch...
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TU Darmstadt
2015
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