Entwurfskriterien feinwerktechnischer integrierter Sensor-Aktor-Systeme

Die vorliegende Arbeit bietet nicht nur einen Überblick über die Tätigkeit des Autors in den vergangenen Jahren am Institut für Elektromechanische Konstruktionen, sondern in Kapitel 2 auch einen fundierten Einblick in den Stand der Technik der integrierten Sensor-Aktor-Systeme. Diese werden untersch...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Pott, Peter Paul
Format: Others
Language:German
de
Published: TU Darmstadt 2015
Online Access:https://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/4616/1/15_07_01_Habilitation_Pott_final_TUPRINTS.pdf
Pott, Peter Paul <http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/view/person/Pott=3APeter_Paul=3A=3A.html> (2015): Entwurfskriterien feinwerktechnischer integrierter Sensor-Aktor-Systeme.Darmstadt, TU Darmstadt, [Habilitation]