Intégration d’un deuxième niveau de guidage photonique par dépôt de SiN au-dessus du SOI traditionnel
En s’appuyant sur les procédés de fabrication matures et sur la production à grande échelle de l’industrie CMOS, la technologie photonique silicium est une solution potentielle pour le développement de liens optiques haut débit peu onéreux destinés aux centres de données. Un premier pas a été franch...
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| Language: | fr |
| Published: |
2019
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2019SACLS120/document |