Développement d'un nouveau procédé de chemo-épitaxie pour l'alignement des copolymères à blocs
Afin de répondre aux demandes constantes de l’industrie micro-électronique pour la réduction des tailles des dispositifs électroniques, de nouvelles techniques de lithographie sont mises au point. Une de ces techniques est l’auto-assemblage dirigé des copolymères à blocs (DSA). Cette technique consi...
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| Language: | fr |
| Published: |
2019
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2019GREAT023/document |