Lithographie optique, dépôts de films minces de tungstène et trioxyde de tungstène dédiés aux capteurs de gaz semiconducteurs

Porté par les préoccupations actuelles en matière de sécurité et de qualité environnementale ainsi que par les efforts de recherche entrepris dans ce domaine, le marché mondial des capteurs de gaz est en pleine expansion. Dans le contexte de la commercialisation d'un capteur de gaz, une phase d...

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Bibliographic Details
Main Author: Verbrugghe, Nathalie
Other Authors: Littoral
Language:fr
Published: 2019
Subjects:
Online Access:http://www.theses.fr/2019DUNK0527/document