Développement de films minces à base de nanoparticules diélectriques et optimisatisation des conditions de dépôt pour fabriquer des condensateurs de découplage utilisés dans des assemblages à haute densité de modules électroniques

Dans le cadre de l’intégration tridimensionnelle (3D) associée à l’utilisation d’un nombre croissant de circuits intégrés (CIs), le besoin en condensateurs de découplage à forte densité de capacité (≥ 1 μF.cm-2), capables d’opérer sur une gamme de fréquences de plus en plus étendue, est crucial afi...

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Bibliographic Details
Main Author: Tetsi, Emmanuel
Other Authors: Bordeaux
Language:fr
Published: 2019
Subjects:
Online Access:http://www.theses.fr/2019BORD0113/document