Etude de la fabrication et de la transduction d'un microgyromètre piézoélectrique tri-axial en GaAs
Un microgyromètre 3 axes permet avec une structure unique de mesurer la vitesse de rotation d’un objet autour des trois axes de l’espace. Les micro-gyromètres 3 axes existants sont peu nombreux et typiquement résonants, fabriqués en technologie silicium par micro-usinage de surface, à transductions...
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| Language: | fr |
| Published: |
2018
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2018SACLS059/document |