Intégration 3D des transistors à nanofils de silicium-germanium sur puces CMOS
Les travaux de cette thèse portent sur l’idée de démontrer que la croissance des nanofils entre deux électrodes prédéfinies et plus particulièrement la croissance horizontale à l’intérieur des tranchées d’oxyde peut être utilisée dans l’optique d’une intégration 3D. Cela permettrait donc à terme de...
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| Language: | fr |
| Published: |
2018
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2018GREAT050 |