Thin films & heterostructures of LiNbO3 for acoustical/optical integrated devices.

Les couches minces de LiNbO3 (LN) avec des orientations du single cristallographique en dehors-du-plan et dans-le-plan sont nécessaires pour les dispositifs optiques et acoustiques. La technique PIMOCVD est adapté pour la déposition de couches minces de LN avec des orientations cristallographiques...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Oliveri, Stefania
Other Authors: Bourgogne Franche-Comté
Language:en
Published: 2017
Subjects:
CVD
670
Online Access:http://www.theses.fr/2017UBFCD049