Modeling of a silane-hydrogen plasma discharge including nanoparticle dynamics for photovoltaic applications.
Cette thèse porte sur la modélisation de la dynamique des nanoparticules de silicium dans les plasmas de silane à couplage capacitif pour applications photovoltaïques.Une dérivation complète des équations fluides pour un plasma bi-température réactif polyatomique a été effectuée dans le cadre de la...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2017
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2017SACLX023/document |