Modélisation, réalisation et test de MEMS RF capacitif de puissance à base de dépôt diélectrique par ALD pour la conception de commutateur pour applications RADAR
Les MEMS RF sont des composants clés pour le développement de nombreuses fonctions de systèmes hyperfréquences plus efficaces et plus compactes (déphaseurs, module transmission/réception, réseau d’antennes à déphasage, circuits reconfigurables, réseau d’adaptation …). Pour le développement des proch...
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| Language: | fr |
| Published: |
2017
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2017LIL10210 |