Optomechanical transduction applied to M/NEMS devices
Au cours de ces dernières années, les progrès technologiques dans le domaine dumicro-usinage sur silicium ont permis le développement de Micro/Nano SystèmesÉlectro Mécaniques (M/NEMS) pour réaliser des capteurs ou des actionneurs.Dans le domaine des NEMS, dont les dimensions sont par définition subm...
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| Language: | en |
| Published: |
2017
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2017GREAY067/document |