Etude et intégration de films getter pour le packaging sous vide à basse température de résonateurs à quartz
Le packaging sous vide des capteurs résonants (accéléromètres, gyromètres), des oscillateurs à quartz utilisés dans les références de temps ou encore des bolomètres est indispensable pour obtenir de très hautes performances et les maintenir dans le temps. Le faible volume de la cavité sous vide néce...
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| Language: | fr |
| Published: |
2016
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2016SACLS240 |