Dynamique des plasmas radio-fréquence à couplage inductif en gaz halogénés simples
Les plasmas radio-fréquences à couplage inductif en gaz halogénés simples (cl2/hbr/o2) sont fortement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Cependant, notre connaissance des processus réactionnels de ces plasmas est encore très partielle. De nombreux travaux de simulations (fluides, p...
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| Language: | fr |
| Published: |
2016
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2016PA066278/document |