Contribution à la caractérisation à l'échelle nanométrique et en hyperfréquence de nanocomposants
Nous présentons une méthode pour caractériser des nanocapacités sub-10 nm de diamètre et des nanotransistors par Interferometric Scanning Microwave Microscope (ISMM), avec lequel nous avons réussi, de non seulement optimiser la résolution latérale qui permet de connaitre leur topographie, mais aussi...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2016
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2016LIL10061/document |