Analyse par ToF-SIMS de matériaux fragiles pour les micro/nanotechnologies : évaluation et amplification de l'information chimique

Aujourd’hui, une grande variété de matériaux dit « fragiles » sont intégrés dans des dispositifs micro ou nanotechnologiques. Ces matériaux sont définissables comme « fragiles » en raison de leur forme, de leur dimension ou encore de leur densité. Dans ce travail, trois catégories de matériaux, de d...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Scarazzini, Riccardo
Other Authors: Grenoble Alpes
Language:en
Published: 2016
Subjects:
530
Online Access:http://www.theses.fr/2016GREAI031/document

Similar Items