Analyse par ToF-SIMS de matériaux fragiles pour les micro/nanotechnologies : évaluation et amplification de l'information chimique
Aujourd’hui, une grande variété de matériaux dit « fragiles » sont intégrés dans des dispositifs micro ou nanotechnologiques. Ces matériaux sont définissables comme « fragiles » en raison de leur forme, de leur dimension ou encore de leur densité. Dans ce travail, trois catégories de matériaux, de d...
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| Language: | en |
| Published: |
2016
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2016GREAI031/document |