Robust control for manipulation inside a scanning electron microscope

Robust control for manipulation inside a scanning electron microscope

Cette thèse étudie le problème de nano-positionnement à l'intérieur d'un microscope électronique à balayage (MEB). Pour obtenir des informations de position avec rapidité et précision, une installation dédiée composée d’un vibromètre placé à l'intérieur du MEB a été mise en œuvre. Cet...

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Bibliographic Details
Main Author: Gaudenzi de faria, Marcelo
Other Authors: Besançon
Language:en
Published: 2016
Subjects:
Nano-manipulation et caractérisation
Microscope électronique à balayage (MEB)
Commande robuste de position
Micro-pince
Caractérisation des perturbations dans le MEB
$H_\infty$
Observateur d'état étendu
Nano-manipulation and characterization
Scanning electron microscope (SEM)
Robust position control
Micro-gripper
Disturbance characterization in SEM
Extended state observer
620.5
Online Access:http://www.theses.fr/2016BESA2068/document

Internet

http://www.theses.fr/2016BESA2068/document

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