Croissance et caracterisation de nanofils de Si et Ge
Nous nous sommes intéressés à la croissance et la caractérisation de nanofils de silicium (Si) et de germanium (Ge). Les nanofils ont été synthétisés par le mécanisme VLS (Vapeur Liquide Solide) dans un réacteur LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition), en utilisant l'or (Au) comme cataly...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Language: | fr |
Published: |
2015
|
Subjects: | |
Online Access: | http://www.theses.fr/2015REN1S062/document |