Synthèse de nanostructures d’oxyde de ruthénium par plasma micro-ondes en post-décharge à la pression atmosphérique
Diverses nanostructures de dioxyde de ruthénium ont été synthétisées par oxydation locale du ruthénium massif et de films minces de ruthénium au moyen de plasmas micro-ondes Ar-O2 en post-décharge à la pression atmosphérique. Ces revêtements ont été déposés préalablement par pulvérisation magnétron....
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2015LORR0057/document |