Nanolithographie par sonde locale catalytique : une approche bottom-up pour la nanostructuration de surfaces organominérales

Face à la quête constante de miniaturisation, les nanosciences ont connu un essor fulgurant lors de la dernière décennie. Au sein de ces dernières, les procédés lithographiques – clé de voûte de l’industrie des semi-conducteurs – permettent désormais d’accéder à des nanomatériaux fonctionnels. Malgr...

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Bibliographic Details
Main Author: Botton, Julien
Other Authors: Aix-Marseille
Language:fr
Published: 2015
Subjects:
Online Access:http://www.theses.fr/2015AIXM4389