Réalisation et caractérisation de CMUT basse température pour applications d'imagerie médicale
Les cMUT sont des microsystèmes principalement utilisés pour de l’imagerie médicale. Afin de développer de nouvelles architectures de sondes, intégrer l’électronique de commande devient impératif. Pour y parvenir, la température du procédé de réalisation ne doit pas excéder 400°C. Cela nécessite don...
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| Language: | fr |
| Published: |
2014
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2014TOUR4011 |