Intégration d'un film mince de Pb(Zr,Ti)O₃ dans une structure capacitive pour applications RF
Les matériaux ferroélectriques suscitent beaucoup d’intérêt du fait de leurs propriétés physiques telles que la piézoélectricité, la ferroélectricité ou encore leur permittivité élevée. Ainsi, on cherche à les intégrer dans les micro- et nano-systèmes dans lesquels on les retrouve généralement sous...
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| Language: | fr |
| Published: |
2014
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2014PA112322/document |