Contribution à l'épitaxie des nitrures d'aluminium et de bore par dépôt chimique en phase vapeur à haute température

Cette thèse se place dans le contexte des recherches menées sur l'élaboration de support de haute qualité cristalline pour des applications optoélectronique et piézoélectrique. Les nitrures d'aluminium, AlN, et de bore, BN sont deux matériaux présentant des propriétés physiques intéressant...

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Bibliographic Details
Main Author: Coudurier, Nicolas
Other Authors: Grenoble
Language:fr
Published: 2014
Subjects:
CVD
620
Online Access:http://www.theses.fr/2014GRENI009/document