Etude du comportement micro-nanotribologique de matériaux fonctionnalisés pour les MEMS
A l’échelle micro-nanométrique, la fiabilité et la durée de vie des microsystèmes (MEMS),généralement réalisés en silicium, sont fortement affectées par les effets de frottement, d’adhesion,d’usure... L’objectif de ce travail est d’étudier les mécanismes de frottement et d’usure sur deswafers de sil...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2014BESA2013/document |