Caractérisation non destructive du silicium poreux par méthode ultrasonore
Le silicium poreux est un matériau qui est actuellement utilisé dans de nombreux domaines, tels que la biologie ou la microélectronique, grâce à ses propriétés remarquables. De nombreuses applications sont étudiées au sein du laboratoire GREMAN, telles que la fabrication de vias électrique ou de cap...
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| Language: | fr |
| Published: |
2013
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2013TOUR4026/document |