Fabrication de semiconducteurs poreux pour améliorer l'isolation thermique des MEMS
L'isolation thermique est essentielle dans de nombreux types de MEMS (micro-systèmes électro-mécaniques). Selon le type de dispositif, l'isolation permet de réduire la consommation d'énergie, diminuer le temps de réponse, ou augmenter sa sensibilité. Les matériaux d'isolation the...
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| Language: | fr |
| Published: |
2013
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2013ISAL0154/document |