Fabrication de semiconducteurs poreux pour améliorer l'isolation thermique des MEMS

Fabrication de semiconducteurs poreux pour améliorer l'isolation thermique des MEMS

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L'isolation thermique est essentielle dans de nombreux types de MEMS (micro-systèmes électro-mécaniques). Selon le type de dispositif, l'isolation permet de réduire la consommation d'énergie, diminuer le temps de réponse, ou augmenter sa sensibilité. Les matériaux d'isolation the...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Newby, Pascal
Other Authors: Lyon, INSA
Language:fr
Published: 2013
Subjects:
Electronique
Système micro électromécanique - MEMS
Consommation énergétique
Carbure de silicium poreux
Silicium poreaux
Isolation thermique
Irradiation aux ions lourds
Conductivité thermique
Résistance chimique
Tenue en température
Electronics
MEMS - Micro Electro Mechanical System
Porous silicon carbide
Porous Silicon
Thermal insulation
Heavy ion irradiation
Thermal conductivity
Chemical resistance
High-temperature behaviour
621.381 620 107 2
Online Access:http://www.theses.fr/2013ISAL0154/document

Internet

http://www.theses.fr/2013ISAL0154/document

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