Etude de la localisation de nanofils de silicium sur des surfaces Si3N4 et SiO2 micro & nanostructurées

Les nanofils de semiconducteurs, d’oxides métalliques ou encore les nanotubes de carbone suscitent beaucoup d’intérêt pour des applications en nanoélectronique, mais également pour le développement de nanocapteurs chimiques ou biologiques. Cet intérêt pour les capteurs est principalement motivé par...

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Bibliographic Details
Main Author: Chamas, Hassan
Other Authors: Lyon, INSA
Language:fr
Published: 2013
Subjects:
Online Access:http://www.theses.fr/2013ISAL0048/document