Imagerie tridimensionnelle nanométrique de matériaux et dispositifs à semi-conducteurs par tomographie électronique
Ces travaux de doctorat concernent le développement de la tomographie électronique appliquée à la nano-caractérisation tridimensionnelle de dispositifs à semi-conducteurs et de matériaux pour la micro et la nanoélectronique. Les contributions les plus significatives de ces travaux sont (i) l'ex...
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| Language: | fr |
| Published: |
2013
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2013GRENY017/document |