Etude des transferts d'énergie lors d'interactions plasma/surface
La connaissance de l’énergie transférée aux surfaces en contact avec un plasma basse pression est un paramètre clé pour le contrôle des procédés plasmas basse pression. Sa détermination permet une meilleure compréhension des mécanismes mis en jeu lors du dépôt ou la gravure de couches couches minces...
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| Language: | fr |
| Published: |
2012
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2012ORLE2040/document |