Nouvelles méthodes pseudo-MOSFET pour la caractérisation des substrats SOI avancés
Les architectures des dispositifs Silicium-Sur-Isolant (SOI) représentent des alternatives attractives par rapport à celles en Si massif grâce à l’amélioration des performances des transistors et des circuits. Dans ce contexte, les plaquettes SOI doivent être d’excellente qualité.Dans cette thèse no...
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| Language: | fr |
| Published: |
2012
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2012GRENT060/document |