Étude d’un résonateur piézoélectrique à ondes acoustiques de volume en technologie film mince
Le résonateur étudié s'insère dans un projet industriel porté par NXP Semiconductors. L'objectif est la réalisation d'un résonateur MEMS RF intégrable en vue de remplacer le quartz dans certaines applications. La compatibilité du procédé de fabrication avec les technologies utilisées...
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| Language: | fr |
| Published: |
2011
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2011PEST1035/document |