Micro-actionneurs piézoélectriques
Le Titano-Zirconate de Plomb, ou PZT est un matériau piézoélectrique présentant de très bonnes performances pour l'actionnement des microsystèmes. Dans ce travail de thèse, nous nous proposons de répondre à la problématique de l'intégration du PZT par dépôt sol-gel. Dans une première parti...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2011GRENT103/document |