Fabrication top-down, caractérisation et applications de nanofils silicium
Cette thèse porte sur l'étude de nanofils silicium réalisés par approche top-down. Elle s'inscrit dans le contexte de la miniaturisation des composants et la compréhension du transport dans les systèmes 1D. Deux voies de fabrication sont envisagées: la lithographie par AFM (Microscope à Fo...
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| Language: | fr en |
| Published: |
2008
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2008LIL10009/document |