[en] METALLIC NANOSTRUCTURE FABRICATION BY AFM LITHOGRAPHY

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[pt] Nesta dissertação de mestrado, nós desenvolvemos um processo de litografia baseado na técnica de microscopia de força atômica. O estudo do processo de litografia aqui utilizado inicia-se com a deposição e caracterização de filmes finos de sulfeto de arsênio amorfo (a-As2S3) em substratos de...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: HENRIQUE DUARTE DA FONSECA FILHO
Other Authors: RODRIGO PRIOLI MENEZES
Language:pt
Published: MAXWELL 2005
Subjects:
[pt] FISICA
[en] PHYSICS
[pt] NANOLITOGRAFIA
[en] NANOLITHOGRAPHY
[pt] NANOESTRUTURAS
[en] NANOSTRUCTURES
[pt] MICROSCOPIO DE FORCA ATOMICA
[en] ATOMIC FORCE MICROSCOPE
[pt] PONTA DE DIAMANTE
[en] DIAMOND TIP
[pt] MASCARA METALICA
[en] METAL MASK
Online Access:https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=6061@1
https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=6061@2
http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.6061

Internet

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http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.6061

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