[en] SYNTHESIS AND STRUCTURAL, MECHANICAL AND TRIBOLOGICAL CHARACTERIZATION OF THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD FROM ORGANOSILICON

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[pt] Neste trabalho estudamos filmes depositados por três organosilícios em forma líquida pelo método de deposição química na fase vapor assistido por plasma (PECVD) sobre chapas de aço inoxidável 316L e lâminas de silício cristalino <100>. Os líquidos empregados foram o Hexametidissilazano (H...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: NEILETH JOHANNA STAND FIGUEROA
Other Authors: MARCELO EDUARDO HUGUENIN MAIA DA COSTA
Language:pt
Published: MAXWELL 2020
Subjects:
[pt] PROPRIEDADES MECANICAS
[en] MECHANICAL PROPERTIES
[pt] FILMES FINOS
[en] THIN FILMS
[pt] PROPRIEDADES TRIBOLOGICAS
[en] TRIBOLOGICAL PROPERTIES
[pt] PECVD
[en] PECVD
[pt] PROPRIEDADES ESTRUTURAIS
[en] STRUCTURAL PROPERTIES
[pt] HMDS
[en] HMDS
[pt] HMDSO
[en] HMDSO
[pt] HMDSN
[en] HMDSN
Online Access:https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=47738@1
https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/Busca_etds.php?strSecao=resultado&nrSeq=47738@2
http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.47738

Internet

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http://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.47738

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