SEMICONDUCTOR METALLIZATION BY ION BEAMS

Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 工学博士 === 甲第3362号 === 工博第902号 === 新制||工||638(附属図書館) === UT51-60-N305 === (主査)教授 髙木 俊宜, 教授 山田 公, 教授 佐々木 昭夫

Bibliographic Details
Main Author: Inokawa, Hiroshi
Other Authors: 髙木, 俊宜
Format: Others
Language:English
Published: Kyoto University 2009
Subjects:
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/74652