ミストCVD法とその酸化亜鉛薄膜成長への応用に関する研究

Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第13825号 === 工博第2929号 === 新制||工||1433(附属図書館) === 26041 === UT51-2008-C741 === 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 === (主査)教授 藤田 静雄, 教授 三浦 孝一, 教授 川上 養一 === 学位規則第4条第1項該当...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: 川原村, 敏幸
Other Authors: 藤田, 静雄
Format: Others
Language:Japanese
Published: 京都大学 (Kyoto University) 2008
Subjects:
ZnO
CVD
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/57270